VPSA制氧裝置技術(shù)在我國起步較早。作為軍用產(chǎn)品，1966年開(kāi)始研究空氣制氧用沸石分子篩分離技術(shù)。

　　20世紀70年代是我國VPSA制氧裝置技術(shù)發(fā)展的全盛時(shí)期。國內十幾家單位先后開(kāi)展了PSA制氧技術(shù)的實(shí)驗研究，建立了多套工業(yè)試驗設備。這一時(shí)期開(kāi)發(fā)的VPSA制氧裝置有以下共同點(diǎn):

　　(1)除常壓吸附外，多采用常壓脫附工藝，吸附塔2 ~ 4座;

　　(2)空氣進(jìn)入吸附塔前經(jīng)過(guò)脫水預處理;

　　(3)設備可靠性差，不能連續穩定運行，導致大部分設備報廢;

　　(4)技術(shù)經(jīng)濟指標落后。

　　由于低成本性能的設備,這個(gè)過(guò)程不是足夠成熟,市場(chǎng)開(kāi)發(fā)是不夠的,舊的設備已被服務(wù),新設備找不到市場(chǎng),在1980年代,最初從事VPSA制氧裝置研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)開(kāi)發(fā)項目已經(jīng)暫停了,中國的VPSA制氧裝置的發(fā)展又進(jìn)入了一個(gè)低谷?？梢哉f(shuō)，國內市場(chǎng)在此之前，沒(méi)有正規的工業(yè)制氧設備，也沒(méi)有專(zhuān)業(yè)的psa制氧設備制造商。

　　從20世紀90年代開(kāi)始，psa制氧正式工業(yè)化，由于電能短缺，鋼鐵市場(chǎng)蓬勃發(fā)展，支持了psa制氧電爐煉鋼，不僅項目快，使用效果也很好。

　　電爐煉鋼所需的氧氣純度為90%。因此，作為電爐的配套設備，psa制氧的質(zhì)量要求是90%的氧氣純度。

　　psa氧氣的生成是空氣的原料，正常的空氣成分根據體積分數的計算是:氮(N2)約占78%,氧氣(O2)約占21%,稀有氣體約占0.939%的(他氦、氬、氖Ar Rn,氪Kr,氙Xe,氡,主要用于氬),二氧化碳(CO2)約占0.031%,約占0.03%,天然氣和其他雜質(zhì),如臭氧(O3)、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2),水蒸氣(H2O)等。

　　由于氧氣與稀有氣體氬的分子量相近，不能分離，所以假設空氣中所有的氮氣都被吸附，剩下的氧氣僅占21/22=0.9545，因此業(yè)界認為psa制氧的理論純度最高為95.5%。

　　氧純度的80%來(lái)自于本世紀初的富氧冶煉和高爐噴煤工藝。事實(shí)上，用戶(hù)只需要富氧空氣，而產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)是為了降低氧氣的提取成本。在設計上，1000Nm3/h-90% psa制氧設備相當于1250Nm3/h-80%純度的設備和800Nm3/h-93%純度的設備。

　　氧氣純度為85%，其實(shí)沒(méi)有實(shí)際意義，但有些廠(chǎng)家根據80%純度的設備當純度為85%時(shí)，產(chǎn)量并沒(méi)有下降多少。

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